
Det kinesiska företaget Prinano levererar det första inhemska nanoimprintlitografiverktyget
Det kinesiska företaget Prinano har levererat sitt första egenutvecklade PL-SR nanoimprintlitografisystem, som klarar linjebredder på under 10 nm, till en lokal kund. Systemet, som är ett alternativ till EUV för minnes-, fotonik- ...